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PVD真空鍍膜污染源以及如何處理?

點擊數(shù):819 發(fā)表時間:2022-07-20 09:58:40

真空鍍膜設備由許多精密零件組成,這些零件是通過許多加工工藝制造的,如焊接.磨.車.刨.鏜.銑削和其他工藝。由于這些工作,青島真空鍍膜設備零件的表面不可避免地會被一些加工油污染.油垢.金屬屑.焊劑.拋光膏.汗痕等污染物。這些污染物在真空條件下容易揮發(fā),從而影響設備的真空。

此外,這些機械加工帶來的真空污染物吸收大量氣體在大氣壓環(huán)境中,在真空狀態(tài)下,這些原始吸附的氣體將再次釋放,成為限制真空系統(tǒng)真空的主要因素。為此,污染物必須在真空涂層機組裝前清除。

在使用真空設備的過程中,其部件也會受到污染。然而,這一來源的污染主要是由于使用條件造成的.造成真空泵兩個方面。

青島真空鍍膜設備

1.真空管的燈絲在高溫條件下蒸發(fā),會在陶瓷絕緣子上形成薄膜,對其絕緣強度和測量精度造成一定的損害;

2.由于高溫蒸發(fā),真空中的電子槍燈絲表面會形成一層金屬膜;

3.由于工件濺射,離子束蝕刻設備的內壁會被飛濺物污染;

4.真空蒸發(fā)鍍膜設備的內壁會受到蒸發(fā)目標材料的污染;

5.經常使用真空干燥系統(tǒng),會被蒸發(fā)的物質污染;

6.青島真空鍍膜設備中的擴散泵油.機械泵油是污染的主要來源,鍍膜機長期工作后,設備內部可能會形成一層油膜。

青島真空鍍膜設備

綜上所述,設備的真空衛(wèi)生涉及真空設備.真空系統(tǒng).真空工藝生產等方面和環(huán)節(jié)涉及真空涂層設備本身和特殊真空工藝對使用條件的要求。因此,真空污染是一個值得注意的問題,因為這些污染會影響設備的性能,應注意定期或隨時清潔。


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